Η βιομηχανία ημιαγωγών απαιτεί εξαρτήματα ικανά να λειτουργούν με ακρίβεια, καθαριότητα και μακροχρόνια σταθερότητα υπό ολοένα και πιο απαιτητικές συνθήκες. Το δακτύλιος ολίσθησης κοίλου άξονα JINPAT LPT αναπτύχθηκε ειδικά για αυτές τις προκλήσεις, προσφέροντας αξιόπιστη περιστροφική μετάδοση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλού κενού που συναντώνται συνήθως σε προηγμένο εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών. Με ένα σχεδιασμό που δίνει προτεραιότητα στην ανθεκτικότητα, τον έλεγχο της μόλυνσης και την ηλεκτρική απόδοση, η σειρά LPT υποστηρίζει παγκόσμιους κατασκευαστές ημιαγωγών στη διατήρηση σταθερής ποιότητας παραγωγής.
Το περίβλημα από ανοξείδωτο χάλυβα του δακτυλίου ολίσθησης, κατασκευασμένο από SUS304, παρέχει ισχυρή αντοχή στη θερμική καταπόνηση και τη μηχανική παραμόρφωση. Στο εσωτερικό της μονάδας, δακτύλιοι αγωγών από κράμα υψηλής θερμοκρασίας και σύνθετες επαφές πολύτιμων μετάλλων εξασφαλίζουν σταθερή μετάδοση σήματος και ισχύος, ακόμη και κατά τη διάρκεια παρατεταμένης λειτουργίας πάνω από 200°C. Η εσωτερική δομή είναι σχεδιασμένη για αποτελεσματική θερμική διαχείριση, ελαχιστοποιώντας τη διαστολή και διατηρώντας χαμηλό ηλεκτρικό θόρυβο καθ' όλη τη διάρκεια του κύκλου παραγωγής.
Η συμβατότητα με το κενό είναι ένα άλλο καθοριστικό χαρακτηριστικό της σειράς LPT. Οι διαδικασίες ημιαγωγών βασίζονται σε αυστηρά ελεγχόμενα περιβάλλοντα κενού όπου η μόλυνση πρέπει να μειωθεί σχεδόν στο μηδέν. Για να πληρούνται αυτά τα πρότυπα, ο δακτύλιος ολίσθησης ενσωματώνει ένα ξηρό, χωρίς λίπανση σχεδιασμό, εξαλείφοντας την πιθανότητα απελευθέρωσης ατμών λαδιού. Το σύστημα στεγανοποίησης πολλαπλών σταδίων και τα υλικά χαμηλής εκπομπής αερίων διατηρούν εξαιρετική αεροστεγανότητα. Επιπλέον, ένας σχεδιασμός χωρίς ιόντα χαλκού αποτρέπει τη μόλυνση από μέταλλα—ένα κρίσιμο πλεονέκτημα στην παραγωγή πλακιδίων και σε άλλες ευαίσθητες διαδικασίες.
Ο δακτύλιος ολίσθησης κοίλου άξονα LPT χρησιμοποιείται ήδη με επιτυχία σε ένα ευρύ φάσμα εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών. Ο συνδυασμός της θερμικής αντοχής, της μηχανικής σταθερότητας και της καθαριότητας κενού του, του έχει εξασφαλίσει ισχυρή αναγνώριση μεταξύ των κατασκευαστών εξοπλισμού που αναζητούν αξιόπιστες λύσεις μετάδοσης μεγάλης διάρκειας ζωής. Είτε ενσωματωμένη σε συστήματα χειρισμού πλακιδίων, μονάδες επιθεώρησης ή περιστροφικές συσκευές κενού, η σειρά LPT συμβάλλει στη βελτίωση της λειτουργικής σταθερότητας και της αξιοπιστίας της διαδικασίας.
Καθώς οι τεχνολογίες ημιαγωγών συνεχίζουν να προοδεύουν, οι απαιτήσεις του εξοπλισμού θα γίνουν μόνο πιο αυστηρές. Η JINPAT παραμένει προσηλωμένη στην υποστήριξη των παγκόσμιων κατασκευαστών αναπτύσσοντας λύσεις δακτυλίων ολίσθησης υψηλής απόδοσης που βασίζονται σε προηγμένα υλικά, μηχανική ακριβείας και αυστηρά πρότυπα ελέγχου μόλυνσης. Η σειρά LPT αντιπροσωπεύει αυτή τη δέσμευση, προσφέροντας μια στιβαρή και αξιόπιστη περιστροφική διεπαφή σχεδιασμένη για να καλύπτει τις εξελισσόμενες ανάγκες της βιομηχανίας ημιαγωγών παγκοσμίως.